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晶圆直径mm | Ф200 | 砂轮 | 金刚石砂轮mm | Ф200 | |
磨削方式 | In-feed磨削方式 | 清洗 | 晶圆清洗 | 水枪、气枪手动吹洗 | |
主
轴 | 类型 | 高频电机内装式空气主轴 |
| 承片台清洗 | 油石/毛刷手动清洗 |
| 数量（套） | 2 | 真空泵 | 功率 （kW） | 1.5 |
| 额定功率（kw） | 3.8 |
| 真空方式 | 水循环真空 |
| 转速（rpm） | 1000～6000 |
| 真空压力 （kPa） | -90 |
| 上下移动行程(mm) | 90（有初始化位置） |
加工 精度
| 片内厚度变化TTV（μm) | ≤1.5（专用承片台） |
| 进给速度(mm/s) | 0.00001～0.08 |
| 片间厚度变化WTW（μm)
| ≤±3μm |
| 最大速度(mm/s) | 50 |
| 表面粗糙度（μm) | Ra≤0.2精磨(#2000) |
| 最小指令单位(μm) | 0.1 |
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| 分辨率(μm) | 0.1 | 其他规格
| 电源 | 三相AC380V±10% 50/60Hz |
测量仪 (可选项) | 范围(μm) | 0～1800 |
| 功率（kW） | 12 |
| 分辨率(μm) | 0.1 |
| 压缩空气气压（Mpa） | 0.55-0.8 |
| 重复精度(μm) | ±0.5 |
| 压缩空气流量（L/min） | 600 |
承片台 | 承片台轴类型 | 空气轴承 |
| 冷却水压力（Mpa） | 0.3-0.4 |
| 承片台类型 | 多孔陶瓷 |
| 冷却水流量（L/min） | 15 |
| 数量 | 3 |
| 设备尺寸W×D×H （mm） | 1460×2000×2047 |
| 转速(rpm) | 0～300 |
| 设备重量 （kg） | 约3800 |