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晶圆直径（mm） | max∅ 300 | 砂轮 | 金刚石砂轮（mm） | ∅ 300 | |
最小减薄厚度（μm） | 100 | ||||
磨削方式 | In-feed磨削方式 | 清洗 | 吹洗 | 水枪、气枪吹洗 | |
主
轴 | 类型 | 电机内装式空气主轴 | 擦洗 | 油石清洗 | |
数量（套） | 1 | 真空泵 | 功率（ kW） | 1.5 | |
额定功率（kw） | 3.1 | 真空方式 | 水循环真空 | ||
转速（rpm） | 500-2500 | 真空压力 （kPa） | -90 | ||
上下移动行程（mm）（）(mm) | 100（有初始化位）置） |
加工 精度
| 片内厚度变化量TTV（μm） | ≤3（专用承片台） | |
进给速度(mm/s) | 0.00001～0.08 | 片间厚度变化量WTW（μm）
| ≤±3 | ||
最大速度(mm/s) | 50 | 表面粗糙度Ra（μm） | Ra≤0.2（使用2000#砂轮） | ||
最小指令单位(μm) | 0.1 | ||||
分辨率(μm) | 0.1 | 其他规格
| 电源 | 三相AC380V±10% 50/60Hz | |
测量仪 | 范围(μm) | 0-1800 | 功率(kW) | 7 | |
分辨率(μm) | 0.1 | 压缩空气气压（MPa） | 0.55-0.8 | ||
重复精度(μm) | ±0.5 | 压缩空气流量(L/min) | 300 | ||
工作台 | 承片台类型 | 多孔陶瓷 | 冷却水压力(MPa) | 0.3-0.4 | |
数量 | 1 | 冷却水流量(L/min) | 10 | ||
转速(rpm) | 0～300 | 设备尺寸W×D×H (mm) | 850×1900×1850 | ||
Y轴行程(mm) | 450 | 设备重量 kg | 约1700 | ||