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晶圆减薄的作用有哪些

2019/4/8 16:35:45 人气(4073)

  集成电路制造技艺的进步首先出处于市场需求的要求,其次是竞争的要求。在集成电路制造中,半导体硅原料由于其资源精彩,制造本钱低,工艺性好,是集成电路重要的基体原料。从集成电路断面结构来看,大部分集成电路是在硅基体原料的浅表面层上制造。晶圆减薄的作用有哪些呢?下面我们简单的了解一下:

  由于制造工艺的要求,对晶片的尺寸精度、几何精度、表面洁净度和表面微晶格结构提出很高要求。因此在几百道工艺流程中,不可选用较薄的晶片,只能选用肯定厚度的晶片在工艺过程中转达、流片。平常在集成电路封装前,需求对晶片反面有余的基体原料去除肯定的厚度。这一工艺过程称之为晶片反面减薄工艺,对应装备即是晶片减薄机。


  作用:

  1.经过减薄/研磨的方法对晶片衬底进行减薄,改良芯片散热功效。

  2.减薄到肯定厚度有利于晚期封装工艺。

  上述就是晶圆减薄的作用,希望对你有所帮助。