扫描电镜的基本结构有哪些

　　扫描电镜的基本结构有哪些呢?下面我们简单的了解一下：

　　扫描电镜可粗略分为镜体和电源电路体系两部分。镜体部分由电子光学体系、信息采集和显现体系和真空抽气体系构成。

　　1.电子光学体系

　　由电子枪，电磁透镜，扫描线圈和样品室等部件构成。其作用是用来取得扫描电子束，作为信息的激励源。为了取得较高的信息强度和图像辨识率，扫描电子束应拥有较高的亮度和尽量小的束斑直径。

　　2.信息采集及显现体系

　　检测样品在入射电子作用下发生的物理信息，而后经视频扩大作为显像体系的调制信息。现在广泛运用的是电子检测器，它由闪耀体，光导管和光电倍增器所构成。

　　3.真空体系

　　真空体系的作用是为保证电子光学体系正常工作，预防样品污染。

　　4.电源体系

　　电源体系由稳压，稳流及相应的平安保护电路所构成，其作用是提供扫描电镜各部分所需的电源。

　　上述就是扫描电镜的基本结构，希望对你有所帮助。